產品說明
Products Specifications
不必再受廠務排氣限制，製程環境可自動補正穩壓!
- 全球領先磁懸浮無軸承電機技術 - 絕無磨耗、絕無Particle
- 透過類比 / 數位訊號進行流量及壓力控制 - 營造穩定製程環境，改善玻璃晃動風險
- 正反轉雙向設計 - 可即時監控、自動補正氣壓或氣流
- 智慧化參數調整 - 可依產品類別需求，自行變換製程參數
- 低保養需求、極長壽命 - 可使用長達10年以上，維護成本低
- 防爆、防水、防塵、耐酸鹼
- 多元應用面 - Chamber、Exhaust、EUV / AP plasma、ETCH STRP、HPMJ、Cleaner AK段...等)
- 電力需求：110V 5A /20A or 220V 2.5A/10A
- 最高功率：240W/920W
- 最大壓力：915/1150 Pa
- 最高轉速：13000/7400 rpm
- 最高流量：8.4/37 m3/min
- 通訊方式：PLC, RS485
產品規格
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