EESYS電漿清洗機
Resonant Power Supply
ASPS系列常壓等離子糸列，是一種諧振中頻電源供應器 這種電源，在大氣壓下施加正弦波型高電壓電場，產生等離子体 。這款電源，提高半導體/高分子材料的表面質量良好的性能。此外，它提高了 常運用在：TFT-LCD生產線，清洗玻璃的過程中提高良率， 且不限製程，WET機台皆可使用
產品規格
| 電漿反應器 | 電漿長度 | 620mm ~ 1100mm |
| 電力供應 | 容量 | 2,4,6【kVA】 |
| 輸出功率 | Applied Voltage : Max15(kV) Regulation : CV or CP | |
| *兆陽亦提供維修服務* | ||
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