EESYS電漿清洗機
Plasma Power-Pulse Type Power Supply
APPS常壓等離子糸列，是一種脈衝式電源供應器， 這種電源，在大氣壓下可產生高密度脈沖式等離子体 可種PLASMA POWER 在有機物去除和乾式蝕刻製程上有卓越的效果 常運用在：LCD/TP/半導体生產線，廣為運用。
產品規格
| 電漿反應器 | 電漿長度 | 620mm ~ 1100mm |
| 電力供應 | 容量 | 10,15【kVA】 |
| 輸出功率 | Applied Voltage : Max15(kV) Regulation : CV or CP | |
| *兆陽亦提供維修服務* | ||
Top