產品介紹 Products Introduction

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EESYS電漿清洗機

Plasma Power-Pulse Type Power Supply

APPS常壓等離子糸列,是一種脈衝式電源供應器,這種電源,在大氣壓下可產生高密度脈沖式等離子體,可種PLASMA POWER 在有機物去除和乾式蝕刻製程上有卓越的效果,常運用在:LCD/TP/半導体生產線,廣為運用。

產品規格

產品名稱Plasma Power - Pulse Type Power Supply
產品屬性這種電源,在大氣壓下可產生高密度脈衝式等離子體
在有機物去除和乾式蝕刻製程上有卓越的效果
常運用在 : LCD / TP / 半導體生產線,廣為運用。
產品說明APPS常壓等離子系列,是一種脈衝式電源供應器
電漿反應器電漿長度620mm ~ 1100mm
電力供應容量5【kVA】
輸出功率Applied Voltage : Max15 (kV)
Regulation : CV or CP
*兆陽亦提供維修服務*
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