比利時微電子研究中心（imec）宣布推出免費使用版虛擬晶圓廠 imec.netzero 模擬平台，提供量化晶片製造業環境影響視角，使學界、政策制定者及設計人員更有洞見。imec 旨在跨出半導體供應鏈，協助產業降低環境影響。Imec 表示，半導體製造是複雜流程，有多種環境影響，從消耗大量能源、使用稀有材料到排放溫室氣體。業界考量到市場成長度，以及巴黎協定為氣候變遷訂定的目標，正在努力最佳化製程。測定並減緩較大環境影響的製程或技術需要大量資料，正是 imec 永續半導體技術與系統（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems，SSTS）計畫要處理的問題。此為關乎半導體生態系統的合作框架，從電子產品終端使用者、晶圓廠、代工晶圓廠到材料及設備製造商，也攜手學界及政府單位。

為了正確量化晶片的環境影響，imec 開發 imec.netzero 模擬平台虛擬晶圓廠，運用自家晶圓廠資料，從設備、材料及晶圓廠合作夥伴資料進行基準測試，如亞東工業氣體（Air Liquide）、 應用材料（Applied Materials）、ASM、艾司摩爾（ASML）、愛德華（Edwards）、日本 KURITA、科林研發（Lam Research）、日本 SCREEN、東京威力科創（Tokyo Electron）、格羅方德（GlobalFoundries）、三星電子（Samsung Electronics）和台積電（TSMC）。虛擬晶圓廠採生命週期評估（Life-Cycle Assessment）法，搜集並分析晶片製程每個步驟的能源、材料、化學品、氣體及其他資源。合作夥伴可取得 imec.netzero 平台的專用版軟體，詳細量化分析晶片技術隱含排放和其他環境影響，導出實際行動。

imec 計劃觸及更多使用者，公開版 imec.netzero 模擬平台提供與專用版相同的晶圓廠模型和製程資料庫。雖然網頁版功能有限，僅適用現行技術及溫室氣體盤查議定書（GHG Protocol）範疇一（Scope 1）和範疇二（Scope 2），但能提供獨到資料見解，否則大眾無從獲知這些資訊。舉例來說，可根據不同製造地點，視覺化呈現多項（28 奈米以下）邏輯及記憶體技術的氣候變遷（二氧化碳排放）、用電量或總用水量。

Imec 研究計畫組長 Cédric Rolin 解釋，目標是跨出半導體供應鏈和永續半導體技術與系統（SSTS）研究計畫，提供晶片製造業環境影響的高品質透明資料。工具超越現有研究，提供價值給探索產業影響力數據（industry impact data）的產品設計員、環境研究員和政策制定者。

By Atkinson