不必再受厂务排气限制，製程环境可自动补正稳压!

• 全球领先磁悬浮无轴承电机技术 - 绝无磨耗、绝无Particle
• 透过类比 / 数位讯号进行流量及压力控制 - 营造稳定製程环境，改善玻璃晃动风险
• 正反转双向设计 - 可即时监控、自动补正气压或气流
• 智慧化参数调整 - 可依产品类别需求，自行变换製程参数
• 低保养需求、极长寿命 - 可使用长达10年以上，维护成本低
• 防爆、防水、防尘、耐酸硷
• 多元应用面 - Chamber、Exhaust、EUV / AP plasma、ETCH STRP、HPMJ、Cleaner AK段...等)
• 电力需求：110V 5A /20A or 220V 2.5A/10A
• 最高功率：240W/920W
• 最大压力：915/1150 Pa
• 最高转速：13000/7400 rpm
• 最高流量：8.4/37 m3/min
• 通讯方式：PLC, RS485