简中
APPS常压等离子糸列,是一种脉冲式电源供应器, 这种电源,在大气压下可产生高密度脉冲式等离子体 可种PLASMA POWER 在有机物去除和干式蚀刻制程上有卓越的效果 常运用在:LCD/TP/半导体生产线,广为运用。