产品介绍 Products Introduction

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EESYS电浆清洗机

Plasma Power-Pulse Type Power Supply

APPS常压等离子糸列,是一种脉冲式电源供应器,这种电源,在大气压下可产生高密度脉冲式等离子体,可种PLASMA POWER 在有机物去除和干式蚀刻制程上有卓越的效果,常运用在:LCD/TP/半导体生产线,广为运用。

产品规格

产品名称Plasma Power - Pulse Type Power Supply
产品属性这种电源,在大气压下可产生高密度脉冲式等离子体
在有机物去除和乾式蚀刻製程上有卓越的效果
常运用在 : LCD / TP / 半导体生产线,广为运用。
产品说明APPS常压等离子系列,是一种脉冲式电源供应器
电浆反应器电浆长度620mm ~ 1100mm
电力供应容量5【kVA】
输出功率Applied Voltage : Max15 (kV)
Regulation : CV or CP
*兆阳亦提供维修服务*
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