英特尔、三星、台积电等半导体大厂先进製程大战如火如荼开打，对极紫外光（EUV）设备需求大增，EUV独家供应商艾司摩尔（ASML）下世代EUV设备再飙上新天价。

据了解，有别于前一代的EUV ，下世代High-NA EUV 设备因为精密度更高、设计零件更多，价格水涨船高，其中，最新款由英特尔率先下订的机种「EXE:5200 」系统报价逾3.4亿美元（近新台币95亿元），再创历史新高价。

台积电今年大举拉高资本支出，总金额上看440亿美元，年增幅33%起跳，相关支出多数用于先进製程，业界认为，3奈米製程朝2奈米推进，下世代EUV设备扮演关键角色，英特尔、三星、台积电都积极投入相关设备预订採购。

艾司摩尔统计，该公司去年第4季High-NA EUV （TWINSCAN EXE:5000）系统在手订单已有五台，业界推估每台报价约3亿美元，来自英特尔、三星、台积电这三大主要客户。

艾司摩尔并在2022年初收到最新款High-NA EUV首张订单，货主为英特尔。「EXE:5200」为0.55数值孔径High-NA EUV 微影技术首度商转，英特尔目标该设备2025年加入量产，业界估计该设备报价超过3.4亿美元，较前一代价格增逾13%，为史上最贵EUV机台。


●消息出处：联合新闻网 记者尹慧中
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