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2023.03.08产业相关讯息

创全国学研单位之先 中山大学突破碳化矽晶体生长关键

半导体是我国重要产业,产值突破4兆,加上被动元件、电子零组件,总计每年超过5.5兆元产值,显示国际对台湾半导体产业需求和重视。第三代半导体材料「碳化矽」(SiC)晶体已被视为重要战略物资,是发展电动车、6G通讯、国防、航太、绿能的关键要素。

中山大学材料与光电科学学系教授兼国际长周明奇今指出,晶体研究中心成功长出六吋导电型N-type 4H碳化矽SiC单晶,中心厚度为19mm,边缘约为14mm,生长速度达到370um/hr,「晶体生长速度更快且具重复性」,国内尚无其他研究单位或大学能做得到,标示第三类半导体碳化矽向前推进的进程。

周明奇说,台湾半导体产业独步全球,居全球之冠,但在推进高功率元件、电动车及低轨卫星等先进应用的过程,却缺乏成熟的第三代半导体材料碳化矽的晶体生长技术,发展受限制,中山大学团队取得碳化矽晶体生长关键突破,将进一步透过技转,为台厂补足半导体产业链最尖端战略know-how,第一阶段将技转至长期产学合作的企业,善用研发成果助攻产业升级。

周明奇也说明,碳化矽制作困难,晶体生长的技术门槛高,需大量时间及经验,台湾目前的晶体稳定性与良率有待提升,中山大学团队成功生长的6吋导电型(n-type)4H碳化矽单晶,所有关键技术与设备设计、组装全部MIT,不倚赖国外厂商,上下游一条龙自主培养合作厂商生态链,从学术研发链结到产业制造,更能撙节研发生产成本。

中山大学校长郑英耀表示,晶体研究中心积极研发晶体生长设备及相关技术,持续携手医疗、半导体、光学、雷射等产业,获得国科会及教育部高教深耕计画的经费挹注,不断创新突破生长碳化矽晶体的核心技术,透过摄氏2300度以上的超高温生长出碳化矽晶体,是目前国内学研单位中唯一具备生长大尺寸吋SiC晶体的研究中心。

●新闻出处:自由时报_记者林晓云
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