2022.04.01产业相关讯息
台积电携手设备商开发智能系统 列先进封测厂测试机台标准设计
晶圆代工龙头台积电 (2330-TW)(TSM-US) 携手设备供货商针对测试机台开发「智能压缩干燥空气 (CDA) 流量控制系统」,节省测试机台 70% CDA 用量,已导入先进封测厂针测机 (Prober),预计第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新,并列为新建先进封测厂测试机台标准设计。 台积电实践绿色制造,致力优化制程能源使用效率,除以二大策略、6 项行动方案扩大节能成效外,在不影响机台效能的前提下,开发 CDA 流量控制系统。截至今年 3 月,每年减少碳排放量 4473 公吨、省电 891 万度。 晶圆测试目的为确认每片晶圆的可靠度与良率,依不同测试环境需求,部分测试机台由厂务系统全时段供应 CDA,以确保低温时仍保持干燥,维持测试环境稳定性。 台积电指出,因半导体制程快速演进使测试需求持续增加,为提升机台运作与 CDA 使用效率,测试营运处 2020 年第三季启动「智能 CDA 流量控制系统开发项目」,与设备供货商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软件系统,透过撷取机台参数,可依据测试环境需求自动控制 CDA 流量开关,达到有效节省 CDA 用量与电力效益。 台积电预计第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新,并将智能 CDA 流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计,预估至 2026 年可年省 4000 万度电、减碳超过 2 万吨,相当于 52 座大安森林公园 1 年的二氧化碳吸附量。 台积电也规画将智能 CDA 流量控制系统导入测试机 (Tester),持续扩大节能效益,朝能源使用效率优化目标迈进。 ●消息出处:巨亨网
●出处网址:https://news.cnyes.com/news/id/4844956?exp=a Top